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選用麥?zhǔn)险婵沼?jì)時(shí)應(yīng)該注意以下事項(xiàng)
點(diǎn)擊次數(shù):993 更新時(shí)間:2022-03-09
  麥?zhǔn)险婵沼?jì)是利用隔膜在氣體分子作用下發(fā)生變形而測量壓強(qiáng)的真空計(jì),其基本原理如圖1所示。真空計(jì)內(nèi)部有兩個(gè)空間,隔膜右側(cè)連接真空,左側(cè)的參照空間可以保持在大氣壓或其他一定的真空度。
 
  如果p1和p2之間的壓強(qiáng)差很小時(shí),隔膜的變形也很小,要準(zhǔn)確地測量真空度,需要隔膜更薄。可是,如果兩側(cè)壓強(qiáng)差很大,則隔膜可能發(fā)生變形甚至破損。通常情況下,為了防止隔膜過度變形,在電極和隔膜之間施加直流電壓,通過靜電引力使隔膜不發(fā)生變形。通過測量直流電壓值,即可知壓強(qiáng),這種真空計(jì)被稱為單電容真空計(jì)。在隔膜兩側(cè)分別設(shè)置電極而實(shí)現(xiàn)的差動式雙電容真空計(jì),進(jìn)一步提高了測量精度和范圍。
 
  隔膜材料通常使用厚度為幾十微米的因科內(nèi)爾鉻鎳鐵合金(Inconel)。為避免腐蝕氣體的腐蝕,也有使用陶瓷隔膜的產(chǎn)品。
 
  麥?zhǔn)险婵沼?jì)測量的真空度與氣體成分無關(guān),反應(yīng)快、重復(fù)性高,非常適合于氧氣及油蒸氣等特殊環(huán)境的真空測量。
 
  選用麥?zhǔn)险婵沼?jì)時(shí)應(yīng)該注意以下事項(xiàng):
 
  (1)在設(shè)備要求的壓強(qiáng)范圍內(nèi),真空計(jì)是否有足夠的測量精度;
 
  (2)被測氣體是否會對真空計(jì)造成損傷;
 
  (3)真空計(jì)是否會對被測真空環(huán)境造成影響;
 
  (4)真空計(jì)所測壓強(qiáng)是全壓還是分壓,是否已校準(zhǔn),是否與氣體種類有關(guān);
 
  (5)真空計(jì)能否實(shí)現(xiàn)連續(xù)測量,數(shù)值指示及反應(yīng)時(shí)間如何;
 
  (6)真空計(jì)的穩(wěn)定性、可靠性、壽命。

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